ASML heeft gisteren een nieuw lithografiesysteem aangekondigd dat de grootste numerieke aperture (NA) heeft die momenteel beschikbaar is in de halfgeleiderindustrie, namelijk 1,2. De NA is de openingshoek van de lens en vergelijkbaar met een cameralens, is dit bepalend voor de resolutie: hoe hoger de NA, hoe zuiverder is de doorkijk. In het geval van (chip) lithografie stelt dit de fabrikanten in staat om meer details op de silicium wafel aan te brengen. Het ASML TWINSCAN™ XT:1700i systeem is een 193 nm immersion scanner die in staat is om hoge volumes chips te produceren op 45 nm. In een immersion scanner is de lucht, in de ruimte tussen de lens en de wafel, vervangen door een vloeistof waardoor door de breking in de vloeistof de lichtgolven kleiner worden en de resolutie dus groter. De XT:1700i heeft meteen de overstap gemaakt van een NA van 0,93 naar 1,2, zonder de eerst noodzakelijk geachte stap van 1,0 te maken. De eerste levering aan een klant (een grote halfgeleiderfabrikant voor wie dit het tweede ASML immersion systeem wordt) zal plaatsvinden in Q1 2006.
De XT:1700i stelt chipfabrikanten in staat om de resolutie 30 procent te verhogen. Dat is de hoogste verbetering in de afgelopen tientallen jaren heeft plaatsgevonden. Een hogere resolutie betekent meer chips per wafel of meer functionaliteit per chip, waardoor de waarde per wafel toeneemt. Daarnaast heeft de XT:1700i de hoogste doorvoor die momenteel beschikbaar is, namelijk 122 wafels per uur voor het 45 nm procedé.
“De XT:1700i is een mijlpaal voor de halfgeleiderindustie. Het kunnen handgaven van de Wet van Moore hing af van oude technologie aanpassen, dan wel een nieuwe technologie introduceren. ASML was in staat om haar vierde generatie immersion systemen te verbeteren middels NA, op een manier die in deze markt ongeëvenaard is”, aldus Martin van den Brink, executive vice president van marketing en technologie bij ASML.
Andere verbeteringen in de XT:1700i zijn:
Over ASML
ASML is wereldwijd een leverancier van lithografiesystemen voor de halfgeleiderindustrie waarmee IC's en chips gefabriceerd kunnen worden. Het hoofdkantoor bevindt zich in Veldhoven in Nederland.
