In een interview met Bits & Chips heeft ASML-cto Martin van den Brink meer informatie gedeeld over de ontwikkeling van de volgende generatie chipmachines. Zo verwacht het Nederlandse bedrijf dat de eerste high numerical aperture-prototypes in de loop van 2024 zullen beschikbaar zijn voor grote klanten, al kunnen problemen met de supply chain nog altijd roet in het eten gooien.
De high-NA EUV-chipmachines zullen niet alleen behoorlijk meer kosten dan de bestaande EUV-apparatuur, ook het stroomverbruik gaat flink naar omhoog. Waar een traditionele EUV-scanner 1,5 megawatt vereist, verwacht ASML dat high-NA nog eens 500 kilowatt extra nodig heeft. Om deze immense hoeveelheid prik te leveren, wordt er gebruikgemaakt van watergekoelde koperen kabels.
Verder vermoedt van den Brink dat er weinig rek zit op het doorontwikkelen van bestaande technologie. Het nog verder opdrijven van de numerical aperture is theoretisch gezien mogelijk, al is het een vraagteken in welke mate het stroomverbruik en de kosten gaan stijgen – en hoeveel klanten bereid zullen zijn om flink hogere bedragen neer te leggen.
Bron: Bits & Chips
