Intel zal het eerste bedrijf zijn dat dit jaar een extreme ultraviolet (EUV) lithografie-apparaat met een 0,55 numerieke apertuur (high-NA) van ASML in ontvangst neemt, met het merendeel van de machines gepland voor 2024. Het aantal machines suggereert dat Intel van plan is om de Twinscan EXE-machines op grotere schaal te gebruiken. Met deze EUV-machines kan Intel uiteindelijk ook 2nm-chips gaan produceren, maar dat zal waarschijnlijk niet eerder gebeuren dan 2025.
ASML zal volgend jaar slechts tien van deze machines produceren, waarbij de overige vier al zijn toegewezen aan Samsung. Er zijn natuurlijk andere concurrenten zoals TSMC, SK Hynix en Micron die ook EUV-apparatuur nodig hebben. De impact van het feit dat Intel het merendeel van deze machines heeft gekocht, is op dit moment nog niet duidelijk en er is een felle concurrentiestrijd gaande tussen bedrijven om deze machines te verwerven.
Intel zal eerst de Twinscan EXEL 5000 pilot scanner van ASML ontvangen en deze voornamelijk gebruiken om te leren hoe ze high-NA EUV-lithografie het meest effectief kunnen inzetten in de commerciële productie van chips. Intel was oorspronkelijk van plan om deze machines in te zetten voor zijn Intel 18A (18 Angstroms, 1.8nm-class) productienode om de kleinste mogelijke prints te maken, maar heeft toch moeten kiezen voor EUV multi-pattering gezien de verwachte komst van de high-NA apparatuur. De Twinscan EXE:5200 scanners die ze volgend jaar ontvangen, zullen worden gebruikt voor massaproductie van chips met Intel 18A en andere processen vanaf 2025 en later.
Men verwacht dat dit een positief effect zal hebben op de productiecycli van het bedrijf, hoewel de machines duurder zijn dan hun voorgangers. Aangezien de machines veel kleine processoren hebben, is het op dit moment nog niet duidelijk welke invloed dit zal hebben op het productieproces. Intel loopt hiermee wel voorop in het leren van high-NA processen, wat het een voordeel geeft ten opzichte van zijn concurrenten. Het bedrijf kan eerder beginnen met het produceren in grote volumes, wat het een aanzienlijk voordeel geeft ten opzichte van TSMC en Samsung Foundry.
Samsung zit ook niet stil en heeft een eigen deal gesloten met ASML om prioriteit te krijgen bij high-NA technologie. Het bedrijf wil vooral inzetten op de productie van DRAM-geheugenchips en logische chips op de lange termijn.
Bronnen: TomsHardware, TrendForce
